真空爐即真空熱處理爐，真空爐般由主機(jī)、爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統(tǒng)、供電系統(tǒng)、控溫系統(tǒng)和爐外運(yùn)輸車等組成。

　　、真空爐的安裝

　　1、參照?qǐng)D紙?zhí)峁┑恼婵諣t平面布置、安裝位置和土建條件，選好設(shè)備安裝地點(diǎn)并進(jìn)行土建施工。安裝地點(diǎn)應(yīng)無煙塵污染，環(huán)境清潔，空氣干燥，不應(yīng)與其他設(shè)備等放在起，保持室溫10-35℃，地面平整光潔。
　　2、安裝石墨電熱元件和水冷電時(shí)，
　　a.拿石墨元件時(shí)要為小心，以防損壞；
　　b.要可靠地?cái)Q緊螺栓，以達(dá)到良好的電接觸，不要用力太大，避免螺紋斷扣。
　　3、按真空系統(tǒng)圖將真空系統(tǒng)定位，組裝并與爐體連接。裝配時(shí)把O型密封圈涂上層薄薄的真空油脂，均勻地?cái)Q緊法蘭。
　　4、按水冷系統(tǒng)圖，將進(jìn)水管與排水管分別接到爐子的進(jìn)、排水口上，提供壓力為0.1-0.15MPa，溫度不低于15℃，不高于30℃的水源， 好提供循環(huán)水、防銹水。
　　5、提供壓力 小為0.5MPa的氣動(dòng)氣源，可用工業(yè)氮?dú)?，如用壓縮空氣，則自備氣動(dòng)“三大件”（如油霧氣、減壓器、分水濾氣器）。
　　6、按回充氣體系統(tǒng)圖將管路接至回充管路上，并建議提供純度為99.99%—99.999%的高純度氮?dú)庾鳛榛爻錃怏w。
　　7、按電氣接線圖把電源接到相應(yīng)的電接點(diǎn)上，校核電源電壓，連接控制箱，動(dòng)力箱和爐體間的電線電纜。
　　8、安裝其余零部件，包括導(dǎo)管、測量儀器儀表等。

　　9、爐體和控制箱均接地，接地電阻≤4歐，儀表和真空計(jì)的規(guī)管電纜也應(yīng)接地。

　　二、真空爐調(diào)試

　　1、冷爐調(diào)試

　　A、機(jī)械、氣壓、電氣聯(lián)動(dòng)調(diào)試，調(diào)整工件傳送轉(zhuǎn)移時(shí)間≤25S，整個(gè)聯(lián)動(dòng)在裝載200Kg的情況下，連續(xù)動(dòng)作三次應(yīng)協(xié)調(diào)平穩(wěn)，準(zhǔn)確可靠。
　　a.真空隔熱門開啟或關(guān)閉行程時(shí)間調(diào)至≤8 S。
　　b.工件車前進(jìn)至加熱室行程時(shí)間調(diào)至12—15 S。
　　c.工件車上升或下降行程時(shí)間調(diào)至≤3 S。
　　d.工件車后退至冷卻室行程時(shí)間調(diào)至12—15 S。
　　e.裝載200Kg進(jìn)行聯(lián)動(dòng)試驗(yàn)，總行程時(shí)間為≤25 S連續(xù)動(dòng)作應(yīng)協(xié)調(diào)平穩(wěn)，準(zhǔn)確可靠。
　　B、氣冷風(fēng)扇調(diào)試，轉(zhuǎn)速約1400r/min,轉(zhuǎn)動(dòng)靈活，無異?，F(xiàn)象。
　　C、報(bào)警系統(tǒng)調(diào)試，應(yīng)準(zhǔn)確無誤，安可靠。
　　D、測量緣電阻大于等于20千歐。

　　E、測量爐子冷態(tài)真空度，壓升率接近0.5Pa/h（可結(jié)合在熱調(diào)試中進(jìn)行）。

　　2、真空爐熱調(diào)試

　　A、在爐子真空度不低于13.3Pa的情況下通電烘爐，在爐溫緩慢升至1300℃的整個(gè)過程中，爐子真空度不應(yīng)低于13.3Pa，經(jīng)過充分烘烤 ，除氣后，壓升率達(dá)到技術(shù)要求時(shí)即可。
　　B、限真空度測量：不低于6×1.0-4Pa。
　　C、工作真空度測量：不低于2.7Pa（在1000空爐時(shí)）。
　　D、壓升率測量：在真空爐加熱至1200℃時(shí)，經(jīng)過充分烘烤除氣后，爐溫冷卻至100℃以下時(shí)再測壓升率，應(yīng)達(dá)到0.5Pa/h。
　　E、回充氣體調(diào)試：當(dāng)冷卻室真空度為1.33Pa時(shí)，關(guān)閉真空隔熱門、冷卻室真空閥，并立即向冷卻室爐充入氮?dú)?.06MPa時(shí)，時(shí)間應(yīng)在 2.5（秒）完成，并且加熱室的真空度不得低于670Pa。